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白光LED的奈米結(jié)構(gòu)控制技術(shù)(組圖)--國內(nèi)技術(shù)

摘自:中國半導(dǎo)體照明網(wǎng)     作者:宏拓新軟件
    發(fā)布日期:2007-12-05         
閱讀:49     
 
 
     前言 :GaN(氮化鎵)系藍(lán)紫色發(fā)光組件可應(yīng)用于新世代DVD,因此備受相關(guān)業(yè)者高度期待,此外利用LED高輝度、省能源的發(fā)光特性,藍(lán)紫色發(fā)光組件未來還可取代傳統(tǒng)的白炙燈、熒光燈,成為白光照明燈源的主流。氮化鎵的格子缺陷很多卻能夠產(chǎn)生高輝度,主要原因是藉由奈米 技術(shù)控制組件結(jié)構(gòu),使得組件的發(fā)光效率得以提高,進(jìn)而獲得高輝度。因此本文要深入探討氮化鎵發(fā)光的奧秘,與提高發(fā)光效率的方法。
  
    白色發(fā)光二極管

        利用GaN(氮化鎵)系半導(dǎo)體的白色發(fā)光二極管,做為新世代固態(tài)照明燈源是歷經(jīng)無數(shù)的轉(zhuǎn)折,十年前包含產(chǎn)官學(xué)研界幾乎未曾將半導(dǎo)體白色發(fā)光二極管納入考量,雖然有很多研究人員非常關(guān)心藍(lán)光LED的發(fā)展,卻都無視白光LED的應(yīng)用潛能。

 

97年利用藍(lán)光LED激發(fā)黃色熒光體(YAG;釔、鋁、石榴石、鈰的混合物),再透過藍(lán)色與黃色熒光體的互補特性,產(chǎn)生二色式擬似白光的LED正式進(jìn)入量產(chǎn),加上行動電話的應(yīng)用促成白光LED全面性的普及,使得白光LED成為全球性的研究主流。
由于白光LED不需使用熒光燈常用的玻璃管、惰性氣體、水銀、變壓器、升壓器,所以可以大幅節(jié)省能源,取代熒光燈與白炙燈除了可節(jié)省能源之外,廢棄物的減少對地球環(huán)保也有莫大的助益。

        97年日本通產(chǎn)省根據(jù)京都環(huán)保會議的省能源對策決議,組成「21世紀(jì)光源計劃小組」,并委托日亞化學(xué)與豐田合成進(jìn)行技術(shù)開發(fā),該計劃小組將近紫外LED的外部量子效率(以下簡稱為取光效率)目標(biāo)定為40%,當(dāng)時藍(lán)光LED的取光效率為15%,紫外LED的取光效率祇有7.5%,目前紫外LED的取光效率則已經(jīng)超過31%,也因此使的高性能白光LED的量產(chǎn)誘因更加扎實,而21世紀(jì)光源計劃小組對全球白光LED的研究開發(fā)在提高取光效率的研發(fā)上扮演著更重要的角色。
  
    有關(guān)格子缺陷

        有關(guān)LED的基本動作原理,具體而言是電流順時鐘方向通過半導(dǎo)體p-n(正孔與電子)接合面時,正孔與電子會注入奈米級厚度的活性層(亦稱為發(fā)光層),進(jìn)而因輻射再結(jié)合過程(process)產(chǎn)生發(fā)光現(xiàn)象。 

        利用混晶(亦稱化合物為半導(dǎo)體)InGaN產(chǎn)生高輝度藍(lán)光或是綠光的LED雖然已經(jīng)進(jìn)入商品化,可是有關(guān)發(fā)光機(jī)制傳統(tǒng)的半導(dǎo)體物性物理學(xué)理,卻無法具體說明因原因而屢遭質(zhì)疑。其實不論是LED或是半導(dǎo)體雷射LD等發(fā)光組件(device),通常都具有 以上的格子缺陷,格子缺陷會阻礙發(fā)光,形成所謂的「發(fā)光殺手中心」,最后導(dǎo)致發(fā)光效率降低等問題。

        以GaN為基礎(chǔ)的InGaN/GaN量子井QW型LED,含量109~1010/cm2 左右高密度格子缺陷,按照傳統(tǒng)理論,如此高密度格子缺陷照理說不會發(fā)光,實際上InGaN/GaN系LED卻能作高效率發(fā)光,換句話說InGaN系LED具有與以往LED相異的發(fā)光機(jī)制。 InxGa1-xN是由InN與GaN所構(gòu)成的三維化合物半導(dǎo)體,GaN層屬于近紫外LED活性層,因此適合使用光學(xué)評鑒方式研究。如表1所示GaAs、ZnSe等常用的Ⅲ-Ⅴ(三五族)、Ⅱ-Ⅵ(二六族) 化合物半導(dǎo)體與GaN最大差異點,是GaN氮化物半導(dǎo)體的縱光學(xué)(LO:Longitudinal Optical;以下簡稱為LO)與音子(phonon;格子波的量子)的能量(ħ ω =h/2π,h為膜厚plank常數(shù))大于92.5 ,因此電子與LO相互作用的能量( αe  ħ也隨著變大,兩者互動值往往超過44.2 (表1的 αe  為Frohlich結(jié)合常數(shù),ω為音子的振動數(shù)),導(dǎo)致被激發(fā)的載子(carrier;電子與正孔)會與LO產(chǎn)生強(qiáng)烈的互動,如圖1所示被結(jié)晶格子捕獲的電子變重(稱為polaroon狀態(tài))形成自我束縛狀,最后造成載子祇能在極短距離內(nèi)移動,而電子則成為自由電子般的漂流。 

        另一方面正孔也形成polaroon自我束縛狀,加上In原子與Ga原子的電氣陰性度的差,尤其是In原子周圍短距離型電位(potential),有可能產(chǎn)生強(qiáng)大的正孔捕捉。類似上述的電子與正孔的挶限化,會在奈米以下的原子大小范圍內(nèi)產(chǎn)生,這種現(xiàn)象可視為InGaN化合物半導(dǎo)體的固有性質(zhì),換句話說注入發(fā)光組件活性層的載子,由于上述的捕捉效應(yīng)被空間性的挶限,到達(dá)「發(fā)光殺手(killer)中心」的比率則相對的偏低,所以即使InGaN/GaN等化合物半導(dǎo)體具有大量的轉(zhuǎn)位格子缺陷,仍舊可作高效率的發(fā)光。 [Page]

    除了以上介紹的模式之外,會發(fā)光的理由是因為In特異性質(zhì)產(chǎn)生下列兩種模式:

1.GaN活性層的In組成不均,使得黏著電位(coherent potential)動搖,造成激發(fā)子產(chǎn)生挶限現(xiàn)象。 
      2.存于InGaN活性層非常微細(xì)的In高濃度領(lǐng)域(亦即量子點) 激發(fā)子產(chǎn)生挶限現(xiàn)象。
    上述其中的任一種模式的激發(fā)子挶限現(xiàn)象賦與高效率發(fā)光特性,乃是很常識性的想法。不過第1.項模式卻無法說明發(fā)光與激發(fā)頻譜所產(chǎn)生的storks shift,以及它的溫度依存性發(fā)生原因,也就是說1.與2.的模式祇能解釋發(fā)光現(xiàn)象是挶限激發(fā)子所造成的。

降低格子缺陷提高效率

        圖2是具備InGaN/GaN系量子井結(jié)構(gòu)之LED發(fā)光波長與外部量子效率(亦即取光效率)的變化特性,圖中的r、£、◆符號分別是日亞化學(xué)與Cree,以及21世紀(jì)光源計劃小組的正式報告數(shù)據(jù)。由圖可知發(fā)光波長愈短活性層的In含有量就有愈少的傾向,此時應(yīng)該是外部量子效率的最大值,它的波長依推測約在400nm左右。 

        2001年1月21世紀(jì)光源計劃小組達(dá)成31%外部量子效率(發(fā)光波長為399~400nm,動作條件:3.4V,200mA),它是目前全球最高的外部取光效率。接著要介紹有關(guān)如何完成當(dāng)初設(shè)定的發(fā)光波長400nm,外部量子效率40%目標(biāo)的高效率LED發(fā)光結(jié)構(gòu)。如上所述電子與正孔因固有挶限效應(yīng)被結(jié)晶格子捕獲,在此狀態(tài)下的載子(carrier)若欲發(fā)揮最大的挶限效應(yīng),勢必徹底減少格子缺陷密度,同時還需控制In組成的搖晃與歪曲,也就是說極力控制發(fā)光process,并藉由電子與正孔的再結(jié)合過程,才是根本提達(dá)成LED高效率發(fā)光的根本方法。

        基于發(fā)光機(jī)制的考量,21世紀(jì)光源計劃小組試作圖3所示之高功率近紫外LED,具體而言它是在已加工的藍(lán)寶石(sapphire)基板,利用LEPS法(Lateral Epitaxy on a Patterned sapphire Substrate)使活性層的格子缺陷密度降低至108/cm2 左右,之后再用雙穩(wěn)態(tài)芯片(flip chip)方式固定于Si mount基板,在382nm波長,20mA時,外部量子效率為24%;400nm波長,20mA時外部量子效率為31%,如果使用散熱器(heat sink)時,1mm平方的芯片可承載400mA的電流,同時還可以獲140mW的發(fā)光功率。 

    單芯片的優(yōu)點

        為獲得完美高演色性 (Ra≧85;Ra為平均演色評鑒數(shù)),基本上白光LED可分為如表2所示的單芯片型(single chip)與多芯片型(multi chip)兩種方法。 

        一種是同時點亮紅色(Red)、綠色(Green)、藍(lán)色(Blue)LED產(chǎn)生白光;另一種是利用藍(lán)光或是紫外光LED作為激發(fā)光源,激發(fā)熒光體獲得白光。除此之外,單芯片型最新技術(shù)動向是改變活性層的性質(zhì),利用單純的半導(dǎo)體產(chǎn)生RGB三色光,進(jìn)而獲得白光效果。

        多芯片型方式礙于各顏色LED的驅(qū)動電壓、發(fā)光功率、配光特性的差異,以及溫度特性、組件壽命的相違,因此距離實用化還存有許多問題有待解決。單芯片型因為組件種類單純,因此具有驅(qū)動電路設(shè)計容易等優(yōu)點。有關(guān)近紫外LED激發(fā)RGB三色熒光體,具體方法是利用RGB三色熒光體的波長與近紫外差異很小的特性,獲得高效率的發(fā)光。圖3(b)的flip chip結(jié)構(gòu)上均勻涂布RGB三色熒光體,便可變成白光LED,此外不同種類熒光體的組合,可產(chǎn)生各種顏色的光線,所以近紫外LED可廣泛應(yīng)用于照明與顯示領(lǐng)域。

  組件的配列

        由于單體LED的光束很微弱,照明用途必需將復(fù)數(shù)個LED作系統(tǒng)最佳化的配列。圖4是日亞BY白光LED、21世紀(jì)光源計劃小組的RGB白光LED,以及山口大學(xué)OYGB白光LED的室溫發(fā)光頻譜、發(fā)光效率、色溫、平均演色評鑒數(shù)Ra等照明光源必備的光學(xué)特性比較。 [Page]

        由日亞的BY白光LED與山口大學(xué)的OYGB白光LED,20mA發(fā)光頻譜可知,紅色成份很弱因此無法獲得高演色Ra值。山口大學(xué)的OYGB白光LED的O表示橘色(orangr),Y表示黃色(yellow),G表示綠色(green),B表示藍(lán)色(blue),如此的設(shè)計主要目的是要補強(qiáng)OY熒光體寬廣發(fā)光領(lǐng)域的紅色成份,之后再與GB混色獲得白光,熒光體最佳激發(fā)波長為400nm,即使激發(fā)波長在370~410nm之間變動,仍然可維持一定程度的發(fā)光強(qiáng)度,此外色溫會隨著OYGB的混合比率,從3000~6500K涵蓋極廣的范圍,同時還可以得到Ra大于93的高演色性,這些測試結(jié)果顯示OYGB白光LED具備良好的光學(xué)特性。圖5的xy色度圖是表示發(fā)光色對注入電流依存特性。由圖可知順向電流從0.5mA至50mA變化時,日亞的色度變化是三種LED之中最大,大約是21世紀(jì)光源計劃小組的二倍左右。該色度變化最大特征是隨著注入電流的增加,從黑體軌跡(實線曲線)偏離所顯示的偏差亦隨著增大,且色溫變化高達(dá)3000K,造成這種現(xiàn)象主要是激發(fā)光本身形成白光成份所造成的。此外偏差在未被視為有色彩光的白光領(lǐng)域內(nèi)也有變化,不過由于隨著注入電流的增加,偏差亦隨著增大等現(xiàn)象觀之,似乎不容易獲得發(fā)光色很安定的白光。

        有關(guān)21世紀(jì)光源計劃小組的白光LED色度變化,由于它的色度變化是沿著等偏差線變化,因此一般認(rèn)為可藉由RGB熒光體的混合比抑制偏差的變化量。山口大學(xué)的白光LED色度變化,隨著注入電流的增加,色度變化與白光偏差都很小,因此可以獲得發(fā)光色很安定的白光。最后是有關(guān)發(fā)光效率,日亞的BY白光LED發(fā)光效率是三者中最高,注入電流的的依存性也是最好的。

    結(jié)語

        目前已經(jīng)商品化的BY白光LED是利用補色關(guān)系的擬似白光,因此無法獲得高演色性(Ra>85),高電流時會產(chǎn)生色度偏差、溫度特性惡化等問題,未來作為照明用白光燈源時必須加以解決才可。由于照明用LED必需是高演色性、均一照度的白光,基此觀點近紫外、紫外LED與多色發(fā)光熒光體組合,形成類似熒光燈發(fā)光特性的白光光源,將成為未來照明用LED的主流。

    照明用白光LED的市場規(guī)模初步估算大約為50億美金,進(jìn)入白光LED的的基本條件在2010年之前:

      1.光效率必需為100lm/W以上。
      2.單位光束為25lm/W以上。
     
3.每一流明的成本不得超過一日圓。
      4.壽命必需超過十萬小時常11.4年連續(xù)點燈。
    此外照明業(yè)者的需求是白光LED開發(fā)的源動力,因此未來照明與LED業(yè)者、半導(dǎo)體生產(chǎn)線相互的融合,對白光LED照明光源的發(fā)展將逐漸展露它的重要性。

 

 

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